真空泵的結構和工作原理

真空泵分類：水環式真空泵、羅茨真空泵、旋片式真空泵

1、水環式真空泵

工作原理：水環式真空泵葉片的葉輪偏心地裝在圓柱形泵殼內。泵內注入一定量的水。葉輪旋轉時，將水甩至泵殼形成一個水環，環的內表面與葉輪輪轂相切。由于泵殼與葉輪不同心，右半輪轂與水環間的進氣空間4逐漸擴大，從而形成真空，使氣體經進氣管進入泵內進氣空間。隨后氣體進入左半部，由于轂環之間容積被逐漸壓縮而增高了壓強，于是氣體經排氣空間及排氣管被排至泵外。

2、羅茨真空泵

工作原理：羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。

一般來說，羅茨泵具有以下特點：

在較寬的壓強范圍內有較大的抽速;

起動快，能立即工作;

對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感;

轉子不必潤滑，泵腔內無油;

振動小，轉子動平衡條件較好，沒有排氣閥;

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